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這3個(gè)真空燒結爐的應急措施了解嗎?

更新日期:2022-05-18      瀏覽次數:661
   為滿(mǎn)足行業(yè)對技術(shù)要求和相關(guān)規范不斷發(fā)展的需要,真空燒結爐工藝在精確度及效率上有了很大成長(cháng)空間。真空燒結爐是一種新型工藝設備,主要用于半導體元件和功率整流器件的燒結工藝,它可以進(jìn)行真空燒結、氣體保護燒結和常規燒結。但是,在日常使用時(shí),它的應急措施我們一定的了解!
  加熱電源掉電
  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表報警。
  2、接地故障。
  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
  4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
  充氣氣體(氬氣或氮氣)停止
  1、抽真空開(kāi)始前,氣體充入時(shí)間長(cháng)或者無(wú)法充入時(shí),請確認氣體管路是否被堵塞。
  2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設備要全部停止后再進(jìn)行檢查。
  3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
  4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì )影響制品質(zhì)量。
  真空室壓力惡化
  1、真空排氣時(shí)間比通常長(cháng)時(shí),應把設備停下來(lái)進(jìn)行檢查,根據真空室內構造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。
  2、通過(guò)壓力上升測試或者用氦氣檢漏來(lái)確認是漏氣還有放氣的影響。
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